일반산업용가스

INDUSTRIAL GASES

· 산소(O²), 질소(N²), 알르곤(Ar), 수소(H²), 탄산가스(CO²), 아세틸렌(C² H² ), 헬륨(He)

· 액체산소(L-O²), 액체질소(L-N²), 액체알르곤(L-Ar), 액체탄산(L-CO²), 액화헬륨(L-He)

· 초고순도산소(UHP-O² ), 초고순도질소(UHP-N² ), 초고순도알르곤(UHP-Ar), 초고순도수소 (UHP-H²), 초고순도헬륨(UHP-He)

· 혼합가스(반도체용 혼합가스, 레이저용 혼합가스, 기타 혼합가스)

반도체용

Toxic Gas

· SiH³, (모노실란), S², H6 (디실란), SiCl⁴, (테트라클로로실란), SiH² , Cl² , (디클로로실란)

· SiH³ (테트라플루오르실란), B² , H6(디보란), PH³, (포스핀), AsH³, (아신), HCI(염화수소),
Cl², (염소), BCI³, (삼염화붕소), CCI⁴, (사염화탄소), NF³, (삼불화질소) SF6(육불화황),
CF⁴ (사불화탄소), CHF³ (삼불화메탄), C², F6(육불화에탄)

· NH³ (암모니아), CH⁴ (메탄), N² , O(아산화질소), WF6(육불화텅스텐)

액화석유가스

C3H8(프로판), C4H10(부탄), C2H6(메탄), CH4(메탄)